Elektronenrückstrahlbeugung (EBSD)
Elektronenrückstrahlbeugung (EBSD von engl. electron backscatter diffraction) ist eine Analysetechnik die angewendet wird um die Mikrostruktur, Kristallorientierung, Dislokationsdichte, Verformungszwillinge und Phasen in einem Material zu studieren. Bei der EBSD Analyse wird die Probe 70° zur Strahlbeugungskamera platziert und mit Elektronen beschossen. Ein Teil der Elektronen die die Oberfläche treffen wir zurück gestreut und diese werden mit Hilfe eines Phosphatschirms detektiert. Elektronen die die Probe verlassen und die Bragg-Bedingung für eine spezifische Ebene erfüllen werden mit einem Intensitätsunterschied detektiert wodurch sog. Kikuchibänder sichtbar werden. Diese geben Aufschluss über den Kristall von welchem die Elektronen rückgestrahlt werden. Durch abscannen einer Oberfläche mithilfe eines Elektronenstrahls kann die Struktur des Materials bestimmt werden.
Ergebnis (Beispiel)
Elektronrückstrahlbeugebild (EBSD) eines Werkzeugstahls. Unterschiedliche Farben repräsentieren unterschiedliche Kristallorientierung im Material.