Augerelektronspektroskopi (AES)

AES är en ytanalysteknik för kemiska analys (elementanalys) hos prover. Tekniken utnyttjar att augerelektronerna som genereras vid elektronbestrålning har ett kort utträdesdjup från ytan och bara ger information från de yttersta atomlagren. Normalt så undersöks de första 10 atomlageren hos ett prov. Metoden är väldigt effektiv för högupplösande undersökning av ytor (0.01 µm till 100 µm) och för att detektera föroreningar.
Tekniken kan med fördel kombineras med en avverkande sputtring. I detta fall sker en växelvis sputtring och analys. Genom en mängd avverkningar och analyser erhålls en djupprofil av den kemiska sammansättningens från ytan och djupare in i provet.

Metoden används för att bestämma kemiska sammansättningen hos t.ex. nanopartiklar, tunna ytfilmer, passiveringsskikt och föroreningar.

Djupprofil av oxidskikt.